德國 米銥 Micro-Epsilon 干涉儀

德國 米銥 Micro-Epsilon 干涉儀 型號 IMS5400-TH70

Micro-Epsilon產品范圍包括用于測量距離和位移的傳感器、用于紅外溫度測量和顏色檢測的傳感器，以及用于尺寸測量和缺陷檢測的系統(tǒng)。產品主要應用于光電傳感領域，工業(yè)自動化領域，半導體領域等。

北京漢達森機械技術有限公司是一家專業(yè)從事歐洲工業(yè)產品進口貿易的公司。主要產品有工業(yè)自動化設備、機電設備、液壓設備、電氣設備和零部件等產品。公司總部于2007年在德國成立。公司自成立以來，一直以德國公司的身份為國內一些貿易商，設備商及終端客戶提供產品代購服務。

產品參數(shù)：

型號：IMS5400-TH70

工作距離：70mm±2.1mm

測量范圍（厚度）：0.035…1.4mm1)

分辨率：<1nm

測量速率：從100Hz到6kHz連續(xù)可調

線性度：<±200nm

傳感器溫度穩(wěn)定性：在整個溫度范圍內有效的線性

控制器溫度穩(wěn)定性：溫度補償，穩(wěn)定性<10ppm在+15...+35°C之間

多層測量：1layer

光源：NIR-SLED，波長840nm，Pilot激光器：激光LED，波長635nm

激光類：1級，符合DIN-EN60825-1:2015-07引導激光器：1級，功率(<0.2mW)

光斑直徑：5µm

測量角度：±4°

電源電壓：24VDC±15%

能量消耗：大約10瓦（24伏）

信號輸入：同步輸入、觸發(fā)輸入、2個編碼器（A+、A-、B+、B-、索引）

數(shù)字接口：以太網(wǎng)/EtherCAT/RS422/PROFINET6)/EtherNet/IP6)

模擬輸出：4...20mA/0...10V（16位D/A轉換器）

開關量輸出：錯誤1輸出、錯誤2輸出

數(shù)字輸出：同步輸出

光纖連接：通過E2000插座（控制器）和FC插座（傳感器）可插拔光纖；標準長度3m、5m和10m；可根據(jù)要求提供其他電纜長度；彎曲半徑：靜態(tài)30mm，動態(tài)40mm

電氣連接：3針電源接線板；，編碼器連接（15針，HD-sub插座，最大電纜長度3m，30m，帶外部編碼器電源）；RS422連接插座（9針，Sub-D，最大電纜長度30m）；，3針輸出端子排（最大電纜長度30m）；11針I/O端子排（最大電纜長度30m）；用于以太網(wǎng)（輸出）/EtherCAT（輸入/輸出）的RJ45插座（最大電纜長度100m）

傳感器安裝：夾緊，安裝適配器（見附件）

控制器安裝：獨立式，DIN導軌安裝

儲存溫度范圍：-20...+70°C

工作溫度范圍：傳感器：+5…+70°C；，控制器：+15…+35°C

沖擊(DINEN60068-2-27)：XY軸15g/6ms，每個1000次沖擊

振動(DINEN60068-2-6)：XY軸2g/20…500Hz，每個10個周期

真空：可選的UHV（電纜和傳感器）

傳感器材料：不銹鋼

控制器材料：鋁制外殼，被動冷卻

控制和指示元件：多功能按鈕：兩個可調功能，10秒后恢復出廠設置；，網(wǎng)頁設置界面：可選預設，自由選擇平均，數(shù)據(jù)縮減，設置管理；6個彩色LED，用于強度、范圍、SLED、引導激光、狀態(tài)和功率；，引導激光：可切換用于傳感器對準（激光LED635nm，激光等級1，功率<0.2mW）

德國 米銥 Micro-Epsilon 干涉儀 型號 IMS5400-TH70